簡易檢索 / 檢索結果

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    TRIZ理論在CMP終點檢測技術發展之應用
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 劉明曄 指導教授: 蔡明忠
    • 本論文主要是探討如何利用TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving)創造發明的理論,應用在晶圓(WAFER)生產過程中最重要的化學機械研磨(Chemical …
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