檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="創造發明原理"
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本論文主要是探討如何利用TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving)創造發明的理論,應用在晶圓(WAFER)生產過程中最重要的化學機械研磨(Chemical …